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            上海添時科學(xué)儀器有限公司

            PRODUCT DISPLAY

            當(dāng)前位置:上海添時科學(xué)儀器有限公司>>CVD氣相沉積>>高真空CVD系統(tǒng)>> GSL-1700X-HVC1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

            1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

            參  考  價:面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準

            產(chǎn)品型號:GSL-1700X-HVC

            品       牌:合肥科晶

            廠商性質(zhì):代理商

            所  在  地:上海市

            更新時間:2025-03-13 12:36:28瀏覽次數(shù):2794次

            聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)
            產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
            儀器種類 管式爐 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合
            GSL-1700X-HVC是一款CE認證的二通道高真空CVD系統(tǒng),它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組度可達1600℃,極限真空度可達 to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導(dǎo)

            殼體       

             · 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命     

             · 保溫材料采用高純氧化鋁纖維,環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失 

            · 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動架上,方便移動.儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭,閥門,高真空機組

            爐管

             · 材質(zhì): 高純氧化鋁陶瓷管 

            · 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上

             · (標配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L 

            (選配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1000mm L

            功率

             6KW工作電壓  AC 208-240V單相, 50/60Hz 

            加熱元件 

            8 根1800°C grade MoSi2 heating element 

            工作溫度

             · 最高工作溫度.: 1650°C(<2h) 連續(xù)工作溫度.: 1600°C

            升溫速率

             ≤5°C/min 

            加熱區(qū)長度 

            加熱區(qū)長度: 457 mm (18") 

            溫控系統(tǒng)

             · 采用PID方式自動控制,并可設(shè)置30段升降溫程序

             · 控溫精度: ±1°C                   

             · 熱電偶: B 型,已經(jīng)安裝在爐內(nèi) 

            真空法蘭 

            · 一對不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝

             · 法蘭上帶有一機械壓力表

             · 兩個精密針閥 

            · 一個KF-25連接器 和KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口一個1/4"卡套接頭

             外形尺寸

             550 x 380 x 520mm

            功率        

            100~110W 

            工作電壓 

            AC 208-240V單相, 50/60Hz 

            外形尺寸

             600(L) x 600(W) x 700(H), mm

            高真空機組殼體

             · 殼體尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm 

            · 最大承載量:       600 Lbs on top 

            · 分子泵控制面板:   LCD 數(shù)字顯示內(nèi)裝有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany: 

            控制面板

             · 一鍵操作:按下"start" 鍵后,隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動(隔膜泵先啟動等真空度達到10-2mbar后,啟動)  

            · 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率:根據(jù)腔體內(nèi)的真空度,系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率   

            抽氣速率

             · N2     33 L/s·  He     39 L/s   (2340L/minute)H2   32 L/s

            工作范圍 

             1000 mbar to <1E-7 mbar 

            極限 

            <1E-8 mbar (without any leaking )

            質(zhì)量流量控制器殼體

             · 采用 316不銹鋼制作                                                    

             · 混氣箱尺寸: Φ80X120mm   

            · 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mmMFC控制面板 (Click to enlarge),可根據(jù)客戶要求定制

            功率 

            18W 

            工作電壓

             AC 208-240V, 單相, 50/60Hz


            質(zhì)保期 

            一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件

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